[实用新型]真空镀膜机的自动快速放气装置有效
| 申请号： | 202020706118.7 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN212247191U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 张大鹏;樊静波 | 申请（专利权）人： | 广东东华光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人： | 高志军 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了真空镀膜机的自动快速放气装置，包括真空镀膜机以及设置在真空镀膜机右侧的缓冲气室，所述真空镀膜机的内部设置有真空室，真空室的侧壁上设置有前后对称分布的缓冲气道，缓冲气道靠近真空室的侧壁上开设有密集排列分布的放气口，且放气口与真空室连通；缓冲气室的内部安装有横向设置的静电除尘器以及孔板，且孔板位于静电除尘器的上方，孔板上成型有密集排列分布的锥形孔；本实用新型采用密集排列分布的放气口向真空室内放气，有利于往真空室均匀、快速地充气，避免气流在真空室内分布不均；外界气体经过在缓冲气室内缓冲，减缓气体流动，并且被静电除尘器以及孔板配合进行除尘过滤，有效防止灰尘进入真空室内。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 自动 快速 放气 装置 | ||
【主权项】：
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