[实用新型]一种适用于多种尺寸晶圆的匀胶托盘

摘要

本实用新型公开了一种适用于多种尺寸晶圆的匀胶托盘，包括托盘，托盘的顶部开设有环形真空槽，托盘的顶部中心处开设有与环形真空槽相连通的真空孔，托盘的下侧壁固定连接有套接在真空管外侧壁的大气管，托盘的上表面开设有第一大气槽，第一大气槽的底部开设有第一大气孔，第一大气孔通过第一连接管与大气管相连通，托盘的顶部吸附有晶圆。使晶圆的边缘与托盘接触的位置的压强与大气管内的压强相同，两个位置不存在压差，因此光刻胶不会进入到托盘中心处的真空管内，避免了对真空泵造成堵塞，封堵机构的密封块的位置进行调节，从而满足不同尺寸晶圆边缘处与大气管的连通，适用于不同尺寸的晶圆的吸附固定，节约成本。