[实用新型]一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置有效

专利信息
申请号: 202020734084.2 申请日: 2020-05-07
公开(公告)号: CN212233721U 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 甘泽光;田明雨 申请(专利权)人: 深圳融科半导体装备有限公司
主分类号: A47B81/00 分类号: A47B81/00;A47B96/06;A47B97/00;F17C13/08
代理公司: 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 代理人: 沈锋
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型供气原液储存设备领域,尤其涉及一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,包括:包括储存柜体、控制柜体和换气系统,所述控制柜体固定设置在储存柜体的顶部,换气系统设置在储存柜体的内部,所述储存柜体的底部设置有可固定脚轮;所述储存柜体的内部空间顶部还设置有负压传感器,所述负压传感器与控制柜体上的负压表连接;采用本实用新型,一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,固定式脚轮保证了移动性与便携性,适应厂区环境,换气系统保证储存液体或原液瓶的安全性;双开门双层放置空间,配合移动滑轨,也使得原液瓶的更换与检修更加编写与快速。
搜索关键词: 一种 用于 电子厂 特殊 液体 存储 供应 移动 装置
【主权项】:
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