[实用新型]一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置有效
申请号: | 202020734084.2 | 申请日: | 2020-05-07 |
公开(公告)号: | CN212233721U | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 甘泽光;田明雨 | 申请(专利权)人: | 深圳融科半导体装备有限公司 |
主分类号: | A47B81/00 | 分类号: | A47B81/00;A47B96/06;A47B97/00;F17C13/08 |
代理公司: | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人: | 沈锋 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型供气原液储存设备领域,尤其涉及一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,包括:包括储存柜体、控制柜体和换气系统,所述控制柜体固定设置在储存柜体的顶部,换气系统设置在储存柜体的内部,所述储存柜体的底部设置有可固定脚轮;所述储存柜体的内部空间顶部还设置有负压传感器,所述负压传感器与控制柜体上的负压表连接;采用本实用新型,一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,固定式脚轮保证了移动性与便携性,适应厂区环境,换气系统保证储存液体或原液瓶的安全性;双开门双层放置空间,配合移动滑轨,也使得原液瓶的更换与检修更加编写与快速。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 电子厂 特殊 液体 存储 供应 移动 装置 | ||
【主权项】:
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