[实用新型]一种真空等离子清洗腔有效
| 申请号： | 202020738061.9 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN212062379U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 张永雷 | 申请（专利权）人： | 昆山国华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B08B7/00 |
| 代理公司： | 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) 32354 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种真空等离子清洗腔，包括腔体和所述腔体侧边的门体，所述腔体顶部设有固定板，所述固定板下部竖直排列设置有若干电极，所述电极上部设有进气板，所述进气板上设有进气接头，所述进气接头处连接有出气硬管，所述出气硬管伸于所述电极之间，所述出气硬管内设有匀气机构，本等离子清洗腔在腔门口设置了进气板，通过进气板上设置的进气管深入至电极板之间，从电极板上部分别进气，能够保证气体在电极板之间分部均匀，并且设置了匀气机构，保证每根出气硬管出气均匀，提高清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 等离子 清洗 | ||
【主权项】：
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