[实用新型]一种卷绕镀膜靶管内部空气排空端头有效
| 申请号： | 202020738397.5 | 申请日： | 2020-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN212025449U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 朱世元;闫乃明 | 申请（专利权）人： | 深圳市金耀玻璃机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) 34158 | 代理人： | 宋萍 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种卷绕镀膜靶管内部空气排空端头，包括同轴设置靶管、靶筒压盖、芯轴、轴套和连接件；靶管内部、靶筒压盖、内侧和芯轴外周形成冷却仓；靶管的端部与靶筒压盖密封连接设置；靶筒压盖中部设置安装孔，连接件配合插入该安装孔内；第一排气通道与第二排气通道一一对应连通，第二排气通道与第三排气通道一一对应连通；芯轴与轴套键连接；芯轴中心沿轴向设置进水通道，芯轴位于冷却仓内一端为进水通道的出液端，芯轴位于靶筒压盖外侧的一端为进水通道的进液端。本实用新型中能够将靶管内部空气完全排空，使得靶材能够均匀冷却，避免了因冷却不均匀造成的靶材烧损，排除安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卷绕 镀膜 内部 空气 排空 端头 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市金耀玻璃机械有限公司，未经深圳市金耀玻璃机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020738397.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
