[实用新型]电极结构和电化学沉积设备有效
| 申请号： | 202020753538.0 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN212505140U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 袁广才;闫俊伟;张国才;王成飞;董士豪;曹占锋;孙少东;麦轩伟;王大军 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/12 | 分类号： | C25D17/12;C25D21/06;C25D21/12;C25D21/14;C25D21/10;C25D5/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 魏艳新;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种用于电化学沉积设备中的电极结构，包括：支撑架；设置在所述支撑架上的金属网和多个导电条，所述导电条与所述金属网电连接，所述导电条包括：导电主体和包覆所述导电主体的保护层，所述导电主体的导电率大于所述保护层的导电率。本实用新型还提供一种电化学沉积设备。本实用新型能够提高电化学沉积的成膜均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 结构 电化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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