[实用新型]一种便于更换测试角度的探针卡测定装置及关键结构有效

专利信息
申请号: 202020769495.5 申请日: 2020-05-12
公开(公告)号: CN212031334U 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 赵梁玉;王艾琳;周明 申请(专利权)人: 强一半导体(苏州)有限公司
主分类号: G01N23/00 分类号: G01N23/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种便于更换测试角度的探针卡测定装置及关键结构,所述探针卡测定装置包括支撑底脚、固定底板、夹紧固定结构和测定结构;所述夹紧固定结构包括限位圆板、圆板连接杆、圆形转动块、圆形连接杆、固定壳、滑块、夹紧动板、夹紧定板和螺杆旋钮;所述测定结构包括连接滑块、滑动杆、第一滑动套、转动节、电子显微镜、第二滑动套和滑套连接杆。通过夹紧固定结构和测定结构之间相互配合,不仅可以对探针卡进行检测,而且可以调整探针卡的测定角度,夹紧固定结构可以对不同长度和尺寸的探针卡进行夹紧固定,使用范围更加广泛,本装置的测定结构使用方便,高度和角度调整灵活,同时测定结构中的电子显微镜拆卸简单,适合推广使用。
搜索关键词: 一种 便于 更换 测试 角度 探针 测定 装置 关键 结构
【主权项】:
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