[实用新型]一种曝光装置有效
| 申请号： | 202020779077.4 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN212433579U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 钱志斌;李伟成;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种曝光装置，其包括基座、位于基座上的龙门机构和移动机构、位于所述龙门机构上的曝光机构、位于所述移动机构上的基板台面，基板置于所述基板台面上，所述曝光装置还包括气体保护机构，所述气体保护机构朝向所述基板设置，所述气体保护装置喷射保护气体覆盖曝光机构的曝光区域。通过设置气体保护装置，可以直接对曝光镜头的投射区域输出保护气体，使得基板在曝光时，可以处于无氧的条件，提高基板上油墨层的光泽度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 装置 | ||
【主权项】：
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