[实用新型]一种半导体专用设备轴密封机构

摘要

本实用新型公开了一种半导体专用设备轴密封机构，包括安装座，所述安装座滑动连接有保持架，所述保持架可拆卸连接有轴承，所述轴承滑动连接有传动轴，所述安装座靠近轴承的两端均螺纹连接有密封盖，所述密封盖和保持架配合设置。本实用新型结构简单，操作方便，设计科学合理，通过设置一种半导体专用设备轴密封机构，使得传动轴在工作过程中通过隔离密封，避免设备工作时，空气中的酸碱等腐蚀性物质渗入轴系内部对装置造成损坏，有效提高半导体设备传动轴使用中的密封性，降低轴损程度，保证传动轴工作的精准性和可靠性，提高装置的使用寿命，适合范围进行推广。