[实用新型]一种陶瓷包裹式弧头装置有效
| 申请号： | 202020819657.1 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN212505041U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 朱豪威;郎文昌;赵嘉豪;钟一骅 | 申请（专利权）人： | 温州职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 程嘉炜 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于电弧离子镀技术领域，具体涉及一种陶瓷包裹式弧头装置，包括阴极、屏蔽组件、安装板，阴极固定在安装板上；阴极远离安装板的一端端面固定有靶材；屏蔽组件包括与阴极端面固定连接的连接垫板，连接垫板内、外侧分别设有靶屏蔽环和阴极屏蔽环，连接垫板远离阴极组件的一侧端面上固定连接有屏蔽板；靶屏蔽环的两端分别抵接阴极端面和屏蔽板；阴极屏蔽环的一端端面抵接屏蔽板；屏蔽板远离连接垫板的一侧端面不低于靶材外端面的高度；靶屏蔽环、阴极屏蔽环、屏蔽板均为陶瓷绝缘件。陶瓷全包覆阴极的弧头装置有效的实现弧光放电中的阴极体全屏蔽，可以减少跑弧现象，特别是对于一些异常放电的材料，极大地提升了放电的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 包裹 式弧头 装置 | ||
【主权项】：
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