[实用新型]除霜装置及测试装置有效
| 申请号： | 202020821862.1 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN212540569U | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 闵志成;吴奇伟;朱耀平 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;B08B5/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种除霜装置及测试装置，所述除霜装置包括通气管道及连接部件；所述连接部件包括固定件与转动件，所述固定件用于固定设置在外部的机台上，所述转动件沿轴向可转动地设置于所述固定件上；所述通气管道的至少一部分沿所述转动件的轴向设置于所述转动件上；所述通气管道包括相对的第一端和第二端，所述通气管道用于供压缩气体自所述第一端流入，并自所述第二端喷出。所述除霜装置的结构简单，使用方便，便于在现有的机台上改装增设。 | ||
| 搜索关键词： | 除霜 装置 测试 | ||
【主权项】：
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