[实用新型]一种半导体制程尾气粉尘清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，包括有底座和洗涤筒，底座上的水泵一端接通有输水管，所述洗涤筒设有混流喷嘴，所述混流喷嘴与输水管接通，所述混流喷嘴的出水口设于空腔的中部，所述混流喷嘴一侧接通有进气管，所述洗涤筒上设有出气管，所述洗涤筒底部设有出泥管，所述出泥管与底座上泥泵相接通。本实用新型使用水泵将水加压送入混流喷嘴内，将尾气吸入混流喷嘴内和水混合，设置混流喷嘴小于输水管的口径，将尾气快速的吸入混流喷嘴内和水混合，水和尾气的混合体在混流喷嘴的喇叭出口处因压力变化形成微气泡，强力射流会将微气泡带入洗涤筒的空腔深处，增加气体溶解及微粒子捕捉的效率，提高处理效果。