[实用新型]一种MOSFET功率器件有效

专利信息
申请号: 202020827723.X 申请日: 2020-05-18
公开(公告)号: CN212182339U 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 孙晓儒;徐栋;张诚阳 申请(专利权)人: 福建省福芯电子科技有限公司;无锡玛盟特微电子有限公司
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/06
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 林祥翔;魏小霞
地址: 350000 福建省福州市鼓楼区软*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型涉及芯片技术领域,特别涉及一种MOSFET功率器件。所述一种MOSFET功率器件,包括:N+衬底层,所述N+衬底层上设置有N‑外延层,所述N‑外延层上部设置有P‑BODY区,所述P‑BODY区下部设置有高掺杂区,所述P‑BODY区上部设置有Source区,所述P‑BODY区深度值大于等于6um。本技术方案中的P‑BODY区深度值大于等于6um,通过增加P‑BODY区深度,可以有效减小元胞间距,将漏极加偏压后,P‑BODY区和N‑外延层可以迅速连起来类似平面结,则器件的耐压比较理想而且稳定。通过在P‑BODY区下部设置有高掺杂区减小基区电阻,可有效避免寄生三极管误导通。
搜索关键词: 一种 mosfet 功率 器件
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