[实用新型]一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备有效
| 申请号： | 202020841222.7 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN212881057U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 郑少宾;可建;聂庆庆;梁显宁 | 申请（专利权）人： | 深圳融科半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | B01D1/00 | 分类号： | B01D1/00;B01D1/30 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 沈锋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型源液蒸发柜领域，尤其涉及一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，包括：柜体，设置在柜体中的缓冲罐、源液罐、蒸发器、真空发生器，若干输出管阀和扫吹管阀，以及设置在柜体外壳体上的微控制器；采用本实用新型，源液罐配合缓冲罐实现了带源蒸发柜的应用，并且通过缓冲罐实现了源液罐的在线更换；源液罐与缓冲罐出液端设有液体流量计，手动隔膜阀后段设置有气体流量计，配合微控制器，实现信息的数据化采集，并信号控制真空发生器与蒸发器，显示操作的信息化与自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带源液罐三 甲基 蒸发 输送 设备 | ||
【主权项】：
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