[实用新型]一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉

摘要

本实用新型涉及一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，包括主体、底座、水冷组件、结晶组件以及调整组件；所述主体内设置有左腔和右腔，所述主体外侧设置有冷水管，所述冷水管与水冷组件连通，所述主体上设置有冷却组件、抽气组件以及门组件，所述左腔和右腔分别与主体左右两侧的冷却组件连通，所述结晶组件上设置有点加热件，所述右腔内设置有线加热件。本实用新型提供一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，提高了生产的OLED显示器件的品质，减少了蒸镀机停线和保养的次数，提高了生产效率，降低了生产成本，且加工件和粉末状原材料在不同的腔加热避免了加工件析出的有害气体对结晶的原材料产生影响。