[实用新型]一种激光曝光的制程装置有效
| 申请号： | 202020845185.7 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN211928380U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 张悦悦;鲜其敏 | 申请（专利权）人： | 领跃电子科技（珠海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 珠海飞拓知识产权代理事务所(普通合伙) 44650 | 代理人： | 陈李青 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种激光曝光的制程装置，其特征在于：包括检测传感器、放板机、移栽机、LDI曝光主机、清洁机、翻板机和收板机；所述放板机依次连接清洁机、LDI曝光主机、移栽机、翻板机、清洁机、LDI曝光主机、移栽机和收板机；利用高性能的半导体激光器和DMD镜片，搭配出色的光学系统，用图像电子资料文件代替实物菲林工具，将文件中的图形线路通过镭射激光直接成像技术对干膜进行感光聚合，形成不溶于稀碱溶液的体型大分子结构，且采用LDI光源的解像度能力以及使用寿命高于LED灯源，LDI曝光机比传统曝光机生产效率提高25.3％，整体报废率下降0.4％，一次合格率提高4％，三项主要因曝光导致的报废明显降低，得到有效控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 曝光 装置 | ||
【主权项】：
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