[实用新型]一种硅通孔转接板晶圆测试装置

摘要

本实用公开的一种硅通孔转接板晶圆测试装置，包括转动盘，所述转动盘包括盘体、第一连接孔、基柱、通孔，且盘体的上端边缘开设有第一连接孔，所述盘体上端中间设置有基柱，且基柱上端端面开设有通孔，所述盘体的上端设置有检测安装结构，所述通孔孔内插入连接有对接结构，且对接结构和检测安装结构适配设置，所述对接结构的上方设置有探针结构，且探针结构和对接结构适配设置，所述检测安装结构包括扇形分盘、检测槽、弧形槽、第二连接孔。本实用所述的一种硅通孔转接板晶圆测试装置，利用探针结构和对接结构实现检测槽内晶圆的检测，有效防止探针结构直接接触晶圆，一定程度上提高晶圆检测安全性能。