[实用新型]一种防腐蚀的单晶硅片

摘要

本实用新型公开了一种防腐蚀的单晶硅片，包括单晶硅片本体，所述单晶硅片本体的外表面设置有材料基层，所述材料基层包括石英石材料层，所述石英石材料层远离材料基层的一侧设置有金刚石基层，所述材料基层远离单晶硅片本体的一侧设置有加强层，所述加强层远离材料基层的一侧设置有制绒层，所述制绒层远离加强层的一侧设置有防腐层，所述防腐层包括二氧化硅层，所述二氧化硅层远离防腐层的一侧设置有单晶硅薄膜层。本实用新型通过设置单晶硅片本体、材料基层、加强层、制绒层和防腐层的相互配合，达到了防腐蚀性能好的优点，不会影响单晶硅片的使用效果，可以满足使用者的需求，延长了单晶硅片的使用寿命。