[实用新型]一种化学气相沉积设备的精准安装结构

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积设备的精准安装结构，解决现有技术中存在安装困难、容易漏气的缺点，包括机壳和气体分配盒，所述机壳上开设有安装孔，机壳的顶部依次固定设置有呈环形分布的定位锥块和定位销，所述气体分配盒的底部固定设置有与所述安装孔相匹配的安装部，所述安装部的外部包裹有密封垫，通过定位销、连接板、定位孔、定位锥块以及定位锥槽等结构的设置，安装时使用者可直接将连接板上的定位孔套在对应的定位销上，无需反复调节气体分配盒，降低了安装难度，利用定位锥块和定位锥槽配合提升安装精度，可确保气体分配盒的安装位置精准。