[实用新型]一种靶材气相沉积镀膜夹具有效
| 申请号： | 202020877241.5 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN212375371U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;滕俊 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材气相沉积镀膜夹具，所述夹具包括：托板、卡板及支盘；所述托板设置于所述支盘的上表面；所述托板的背面和支盘的夹角为60‑75°；所述卡板设置于所述托板正面的底端；所述支盘连接有转动装置。本实用新型中，通过对靶材镀膜夹具的合理设计，将靶材托板倾斜一定角度后，解决了物理气相沉积的镀膜中存在的应力不均及金属层分布不均匀的问题，为焊接层物理气相沉积提供可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材气相 沉积 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
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