[实用新型]一种钙钛矿太阳能电池生产用蚀刻装置有效
| 申请号： | 202020886103.3 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212461609U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 刘立帮 | 申请（专利权）人： | 武汉鑫誉金天科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L51/48 |
| 代理公司： | 武汉智慧恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42232 | 代理人： | 张熔舟 |
| 地址： | 430080 湖北省武汉市青山区友谊大道*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种钙钛矿太阳能电池生产用蚀刻装置，涉及钙钛矿太阳能电池生产技术领域，为解决现有的蚀刻装置对太阳能电池片蚀刻效果较差的问题。所述外壳的内部设置有十字集水管，且十字集水管与外壳固定连接，所述十字集水管的下端安装有雾化喷头，雾化喷头安装有若干个，且雾化喷头呈十字形分布，所述十字集水管的上方安装有环形集水管，且环形集水管与外壳固定连接，所述环形集水管的下方安装有加压喷头，加压喷头安装有若干个，且加压喷头呈环形分布，所述外壳内部的两侧均安装有加热装置，且加热装置与外壳通过螺栓固定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钙钛矿 太阳能电池 生产 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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