[实用新型]一种MOCVD装置有效
| 申请号： | 202020891046.8 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212357457U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 张瑞龙;郭永超;许超浚 | 申请（专利权）人： | 厦门三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B28/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MOCVD装置，包括反应腔，反应腔上有密封用的顶盖，顶盖包括相对的内侧表面和外侧表面，内侧表面朝向反应腔的腔体内部空间，其特征在于：MOCVD还包括一个保护罩，保护罩用于罩住顶盖的内侧表面。所述MOCVD顶盖上部包括三种管道，在MOCVD机台拆炉维护过程中，所述三种管道可外接至N2管道中，对顶盖进行持续吹扫。本实用新型提出的MOCVD装置通过保护罩和外接N2吹扫，可减少拆炉过程中顶盖长时间暴露在水氧环境中，减少顶盖内部残留MO源与水氧的反应时长；加快复机速度，提高产能；同时减少生长过程中水氧释放对产品性能的不良影响，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 装置 | ||
【主权项】：
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