[实用新型]晶圆打磨机构有效
| 申请号： | 202020898946.5 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212553076U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 黄毅;陈章水;沈艳东;何飞舍;雷理 | 申请（专利权）人： | 广东长信精密设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B47/00;B24B47/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆打磨机构，与加工主轴相邻设置，包括基座、打磨机、第一驱动装置和第二驱动装置，打磨机通过第一驱动装置和第二驱动装置连接于基座，第一驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的轴向运动，第二驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的径向运动，上述两种驱动装置使得打磨机能够沿加工主轴的轴向和径向运动，当打磨机在第一驱动装置的驱动下沿加工主轴的轴向运动时，打磨机可在晶圆的轴向上相对晶圆运动，以对晶圆的外圆周面进行打磨，打磨机和晶圆的接触面积是逐渐增大的，避免出现晶圆崩边、碎片现象。 | ||
| 搜索关键词： | 打磨 机构 | ||
【主权项】：
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