[实用新型]晶圆研磨机有效
| 申请号： | 202020911011.6 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN212706145U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 王国章 | 申请（专利权）人： | 宜宾昌鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B55/06 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 644000 四川省宜宾市临港经*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够实现研磨和晶圆更换可以同时进行，能够提高研磨效率，提高研磨品质的晶圆研磨机。该晶圆研磨机，包括底座；所述底座的中心位置设置有支撑柱；所述底座上设置有支撑架；所述支撑柱上转动安装有转动盘；在转动盘内设置有多个安装槽，并且在每个安装槽内设置有转轮；在转轮上设置有晶圆安装槽；并且在转动盘上方设置有固定盘；在固定盘上设置有与转轮对应的磨盘；并且在固定盘上设置有一个缺口，缺口与一个转轮对应。采用该晶圆研磨机能够使得晶圆研磨和更换可以同时进行，从而能够提高效率；并且晶圆可以依次通过多个磨盘的研磨，通过设置不同的磨盘，从而依次提高研磨品质，保证最终产品的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨机 | ||
【主权项】：
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