[实用新型]腔体组件和硅片加工设备有效
| 申请号： | 202020931278.1 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN212251177U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 伍波;梁建军;候岳明 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/20 | 分类号： | F16K1/20;F16K31/12;F16K31/04;F16K37/00;F16K51/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;胡晓明 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种腔体组件和硅片加工设备，其中，腔体组件包括：腔体，具有开口；阀板，设于开口处，阀板的一端与腔体铰接；驱动缸，一端与阀板铰接；驱动缸底座，固定设置，驱动缸的另一端和驱动缸底座铰接，其中，驱动缸通过伸缩驱动阀板转动。通过本实用新型的技术方案，有效地减少了阀板开关的部件，简化了结构，缩短了阀板开关的时间，还提升了对阀板的压紧力，有利于提升密封效果，降低驱动力。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 硅片 加工 设备 | ||
【主权项】：
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