[实用新型]一种CVD用新型两端支撑推舟机构

摘要

本实用新型公开一种CVD用新型两端支撑推舟机构，包括推舟杆座组件、推舟杆组件以及反应管组件，所述推舟杆座组件包括推舟杆固定座以及组合支撑杆安装套筒，所述推舟杆组件的一端通过所述组合支撑杆安装套筒固定安装在所述推舟杆座组件上，所述推舟杆组件包括前端滚轮组件以及推舟杆，所述反应管组件内部设置有推舟杆导轨，所述推舟杆组件的另一端通过前端滚轮组件在所述推舟杆导轨上滑行。该种CVD用新型两端支撑推舟机构采用两端支撑结构，可以提升推舟机构的承载能力、大幅度提高推舟运行速度、大幅度延长使用寿命，可以有效减少设备的维护成本、缩短无效工艺时间、提高单机生产效率。