[实用新型]一种电子束冷床炉自动抽真空装置有效
| 申请号： | 202020948183.0 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN212316206U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 巫乔顺;皮坤;刘洪具;沈志彦;杨开;罗磊 | 申请（专利权）人： | 云南昆钢电子信息科技有限公司 |
| 主分类号： | C22B9/22 | 分类号： | C22B9/22;C22B9/04 |
| 代理公司： | 昆明鸿昊知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 53211 | 代理人： | 陈芃綦 |
| 地址： | 650300 *** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子束冷床炉自动抽真空装置，电磁阀Ⅰ与加料仓抽真空口连通且并联真空度检测装置Ⅰ，增压泵两端与电磁阀Ⅰ、电磁阀Ⅱ和电磁阀Ⅳ连通，电磁阀Ⅱ、罗茨泵Ⅰ、电磁阀Ⅲ、机械泵Ⅰ依次连通，电磁阀Ⅱ与罗茨泵Ⅰ间并联真空度检测装置Ⅱ，电磁阀Ⅲ与机械泵Ⅰ间并联真空度检测装置Ⅲ；电磁阀Ⅳ、罗茨泵Ⅱ、电磁阀Ⅴ、机械泵Ⅱ依次连通，电磁阀Ⅳ与罗茨泵Ⅱ间并联真空度检测装置Ⅳ，电磁阀Ⅴ与机械泵Ⅱ间并联真空度检测装置Ⅴ；机械泵Ⅰ及机械泵Ⅱ与排空装置连通。本实用新型具有结构简单、抽真空效率高、真空度控制准确可靠的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 冷床 自动 真空 装置 | ||
【主权项】：
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