[实用新型]一种硅烷气体分配供给系统有效
| 申请号： | 202020956998.3 | 申请日： | 2020-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN212510488U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 张华芹;宋子明;丁宇旺;赵昀 | 申请（专利权）人： | 上海韵申新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/08;F17C13/04;F17D1/04;F17D1/065;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/02 |
| 代理公司： | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人： | 谢小军 |
| 地址： | 201612 上海市浦东新区漕河泾开*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅烷气体分配供给系统，包括供气柜，所述供气柜内设有至少2个气瓶，所述供气柜上设有PLC控制柜，供气柜内设有气体泄漏探测器、火焰探测器和消防喷淋接头，所述气瓶分别各连接一路由风阀、气体差压表、调压阀和其他管阀件组成的气路系统，每路气路系统可通过PLC控制柜进行切换；能够实现全自动化切换供气，配合气体泄漏探测器，火焰探测器，消防喷淋接头，气体管阀件，仪表等组成一套完整的系统。操作方便，结构简单，安全性高，且便于更换钢瓶，所以具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 气体 分配 供给 系统 | ||
【主权项】：
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