[实用新型]一种长寿命溅射靶材组件有效
| 申请号： | 202020968641.7 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN212357372U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;曹欢欢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种长寿命溅射靶材组件，所述长寿命靶材组件包括阶梯状靶材与环形背板；所述阶梯状靶材包括靶材基板以及凸出于靶材基板溅射面的凸块，靶材基板的中心与凸块的中心同心；所述靶材基板的侧壁与环形背板的内壁连接。本实用新型通过选用环状背板，并将靶材选择为阶梯状靶材，在增加靶材厚度的同时能够使靶材组件的整体厚度保持不变，而且能够保证背板的冷却效果。本实用新型提供的长寿命靶材组件的结构简单，便于加工生产，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 寿命 溅射 组件 | ||
【主权项】：
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