[实用新型]晶片夹持装置及离子注入系统

摘要

本实用新型实施例涉及离子注入夹具技术领域，具体而言，涉及一种晶片夹持装置及离子注入系统。在本方案中，通过对基座、靶台、压环、连接件、缓冲垫、定位件和固定组件之间的相对位置进行设置，使得缓冲垫和定位件形成用于对晶片进行定位的结构，并使得固定组件与靶台形成用于对压环进行固定的结构。定位件能够对放置在缓冲垫上的晶片进行定位，固定组件能够在压环与放置在缓冲垫上的晶片压合时对压环进行固定。如此，通过定位件、压环和固定组件的互相配合，能够对晶片进行固定和限位，避免晶片脱离晶片夹持装置，从而提高离子注入的成功率。