[实用新型]样品承载装置有效
| 申请号： | 202020977956.8 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN212180659U | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 李阳 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20025 | 分类号： | G01N23/20025;G01N23/2204;G01B15/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种样品承载装置，用于X射线形貌仪中测试晶圆的X射线形貌像，所述样品承载装置包括基座和设置于所述基座上的样品承载台，所述样品承载装置还包括设置于所述样品承载台的边缘、或围设于所述样品承载台的四周的围挡结构，以及用于对放置于所述样品承载台上的样品进行定位的定位结构；所述定位结构包括多个同心圆标记，多个所述同心圆标记设置于所述样品承载台的承载面上、并以所述承载面的中心点为圆心，所述承载面上设置有表示多个所述同心圆标记的直径的刻度。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 承载 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司，未经西安奕斯伟硅片技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020977956.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种热力管道法兰快速修补器
- 下一篇：一种耐磨损的五金固定件
