[实用新型]一种晶棒夹持定位装置及研磨设备有效
| 申请号： | 202020982480.7 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN212762849U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 王阳;全铉国 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/005;B24B37/34 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶棒夹持定位装置及研磨设备，晶棒夹持定位装置包括：并列设置的至少两个夹具，以及固定夹具的基座；其中，夹具包括：第一夹持组件，第一夹持组件包括第一夹持臂、以及设置在第一夹持臂上的第一夹持件；第二夹持组件，第二夹持组件包括第二夹持臂、以及设置在第二夹持臂上的第二夹持件，并且第二夹持组件与第一夹持组件相对设置，以通过第一夹持件和第二夹持件夹持晶棒；第一驱动装置，连接基座和第一夹持组件；第二驱动装置，连接基座和第二夹持组件。该晶棒夹持定位装置可以独立调整每个夹持组件的位置，并且具有较精准的调整量，从而使得晶棒的偏摆量得到精确修正。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹持 定位 装置 研磨 设备 | ||
【主权项】：
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