[实用新型]一种多弧离子镀蒸发源磁场移动装置有效
| 申请号： | 202020983453.1 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN213142167U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 卢国英;石昌仑;兰睿 | 申请（专利权）人： | 常州夸克涂层科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进区常武中路18号常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多弧离子镀蒸发源磁场移动装置，真空室的侧壁开设有若干第一穿孔，每个蒸发源的靶材过盈配合插接于真空室中，每个靶材面向真空室外侧的一端均固定设有密封板，每个密封板位于靶材面向真空室外部一侧，每个密封板均与真空室外侧壁相互贴合，每个永磁铁固定仓均为圆筒状且一端设有开口，每个永磁铁固定仓内均永磁铁，每个永磁铁固定仓远离真空室的一端圆心处均开设有螺纹穿孔，每个螺纹穿孔中螺纹均连接有丝杆，每个丝杆的一端分别与永磁铁固定连接、另一端位于永磁铁固定仓外侧且固定连接有梅花手轮。本实用新型具有保持永磁铁在靶材表面磁场强度稳定、使靶材充分燃烧、增加靶材的利用率、减少靶材跑弧风险的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子镀 蒸发 磁场 移动 装置 | ||
【主权项】：
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