[实用新型]一种工件预处理设备有效
| 申请号： | 202020989030.0 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN213388894U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 郭馨;江锐;王倩;周翊;赵江山;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C23C22/73 | 分类号： | C23C22/73;C23C22/77;C23C22/82 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种工件预处理设备，涉及激光器技术领域，以解决现有技术中工件钝化使用气相钝化容易生成较稳定的碳氧化表面层，影响激光器的性能的问题。所述工件预处理设备包括：钝化液容器；与所述钝化液容器可断开连接的试样容器；与试样容器可断开连接的清洗液供应装置；与试样容器可断开连接的惰性气体供应装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 预处理 设备 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔体
C23C22-73 .以工艺为特征的
C23C22-78 .待镀覆材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
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