[实用新型]全自动半导体封装机用精密中间板有效
申请号: | 202020991086.X | 申请日: | 2020-06-03 |
公开(公告)号: | CN212209424U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 王俊 | 申请(专利权)人: | 苏州凌骏机械制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215562 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了全自动半导体封装机用精密中间板,包括底座,所述底座上设有两个滑槽,所述底座的上端设有中间板,所述中间板的下端面设有滑轨,所述底座与滑轨之间设有用于改变中间板大小的滑动机构,所述中间板为四块小板拼接组成,所述小板内均设有空腔,所述空腔的侧壁上固定连接有伸缩杆,四个所述小板间通过伸缩杆相互连接,所述中间板上端设有基板,所述中间板的四角与中心均设有用于支撑基板的弹性机构。本实用新型结构合理,其通过设置滑动机构实现中间板大小的更改,适应不同大小基板需要不同中间板的需求,通过设置弹性机构实现弹性支撑,避免因加工力道较大使基板发生变形甚至损坏。 | ||
搜索关键词: | 全自动 半导体 装机 精密 中间 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造