[实用新型]一种蓝宝石热场位置调节装置有效
申请号: | 202021040591.2 | 申请日: | 2020-06-09 |
公开(公告)号: | CN212426242U | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 陈宏;李庆;张国威 | 申请(专利权)人: | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 030060 山西省晋中市榆次*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本实用新型公开一种蓝宝石热场位置调节装置,应用在蓝宝石单晶生长炉,该装置包括调节杆,调节杆包括手柄、支撑块、杆体和推移部,杆体的一端与手柄连接,杆体的另一端与推移部连接,杆体靠近手柄的一侧设有外螺纹,外螺纹的一侧设有若干个密封槽以及设置在密封槽内的密封圈,支撑块内设有内螺孔,支撑块的一端与炉壁的外壁固定,在蓝宝石单晶生长炉的炉壁上环绕设置有若干通孔,杆体贯穿支撑块和炉壁,与支撑块螺纹相连,密封圈与通孔形成密封;本实用新型不需要拆装热场,只需要调节调节杆的位置即可对热场进行调节,本实用新型能够减少人力成本,缩短热场调节时间,提高生产效率和蓝宝石生长质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 位置 调节 装置 | ||
【主权项】:
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