[实用新型]一种原子层沉积装置

摘要

本实用新型提供一种原子层沉积装置，用于粉末包覆，包括粉末容器、分散杆和电源，所述粉末容器用于容纳粉末，所述分散杆设置在所述粉末容器内，所述电源的两个电极分别与所述分散杆和所述粉末容器电连接，所述分散杆至少部分位于所述粉末容器内且所述分散杆的伸入部分与所述粉末容器之间形成电场。通过使分散杆至少部分位于所述粉末容器内且所述分散杆的伸入部分与所述粉末容器之间形成电场，从而可通过静电分散的方式使粉末分散，在避免粉末团聚的同时还可使粉末与反应物质充分接触，改善粉末包覆效果。