[实用新型]一种一寸衬底晶片手动磨边真空吸盘治具

摘要

本实用新型提供了一种一寸衬底晶片手动磨边真空吸盘治具，其采用错位台阶的方式将吸盘改小，解决设备与砂轮干涉问题，且通过合理设计导流气槽及槽位置，达到吸附晶片的效果。其包括吸盘本体，所述吸盘本体包括吸盘底托、吸附上凸，所述吸盘底托的上表面中心上凸形成吸附上凸，所述吸附上凸的上表面中心区域设置有导流槽，所述导流槽的中心位置设置有中心孔，所述中心孔贯穿所述吸附上凸、吸盘底托的厚度方向，所述吸盘底托的下表面中心位置设置有内凹圆柱槽，所述吸盘底托的外环面环布有若干个厚度方向贯穿的连接孔，其还包括有工作台底托，紧固螺栓贯穿所述连接孔后连接所述工作台底托的对应定位孔，所述工作台底托的上表面中心上凸。