[实用新型]一种新型的石墨舟对中装置有效
申请号: | 202021080754.X | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN212342587U | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 李苗苗;李静 | 申请(专利权)人: | 上海亿横精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 上海首言专利代理事务所(普通合伙) 31360 | 代理人: | 刘宏博 |
地址: | 201617 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型的石墨舟对中装置,包括支架和固定杆,所述支架的右端下方设置有倾斜滑轨,且倾斜滑轨的右端设置有盖板,所述盖板的下方开设有第一凹槽,所述限位块的右端设置有晶片,所述稳固盘的后方开设有第二凹槽,且稳固盘的右端开设有盲孔,所述盲孔的右端开设有通孔,且通孔的内部设置有支杆,所述固定杆位于支杆的下方,所述螺丝的右端安装有安装座。该新型的石墨舟对中装置,与现有的普通石墨舟对中装置相比,增加结构的同时大大提高了整个石墨舟对中装置的使用性能,改良后的石墨舟对中装置内部拥有石墨盖板及底盘对中结构,并且拥有对晶片进行支撑和限位结构,有效满足了人们的使用需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 石墨 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造