[实用新型]一种硅片提拉装置有效
| 申请号： | 202021086580.8 | 申请日： | 2020-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN212494273U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 江水德 | 申请（专利权）人： | 衢州三盛电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 张铁兰 |
| 地址： | 324000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片清洗技术领域，且公开了一种硅片提拉装置，包括固定平台，所述固定平台底部的左右两侧均固定安装有底脚，所述固定平台顶部的左右两侧均固定安装有侧板。该硅片提拉装置，将硅片放置在提升花篮上，接着控制气缸下推升降台，通过旋转平台使倾斜台以及提升花篮重新浸入水箱中，通过控制电动推杆，使得倾斜台以固定轴为轴心灵活倾斜，接着控制驱动电机，带动旋转平台以及提升花篮转动，从而快速使提升花篮内的硅片清洗干净，同时硅片与硅片间产生的短距离位移使其不易发生粘黏现象，待清洗完毕后，将其左右两侧的烘干机打开，对清洗完毕的硅片快速烘干处理，整个清洗过程十分快速便捷，设备使用起来更加方便实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
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