[实用新型]金刚石厚导电膜的生长装置

摘要

本实用新型涉及金刚石加工设备技术领域，名称是金刚石厚导电膜的生长装置，包括一个成膜仓，所述的成膜仓侧面具有侧门，侧门和成膜仓可以气密性连接，还有一个成膜平台安装在成膜仓中，所述的成膜仓还连接有高压进气管，在成膜仓内还有电加热管；所述的电加热管可以使成膜仓温度达到300—350℃；所述的加热管是两层的，分别是上层电加热管和下层电加热管，所述的上层电加热管朝下对着成膜平台，所述的下层电加热管朝上对着成膜平台；这样的金刚石厚导电膜的生长装置可以生产出导电膜较厚的金刚石、满足一些客户需要的优点。