[实用新型]一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台

摘要

本实用新型公开了一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台，包括旋转平台和反应板，所述反应板设于旋转平台上方，且反应板与旋转平台匹配设置，所述旋转平台下方设置有连接板，所述连接板上侧壁对称设置有伸缩外管，且旋转平台下侧壁固定连接有与伸缩外管匹配的伸缩内管，所述伸缩外管与伸缩内管竖直滑动连接，所述连接板与旋转平台之间还通过高度调节装置连接。本实用新型通过在伸缩内管上设置刻度线与高度调节装置配合在一切，可以清楚的反应旋转平台上升的高度，从而快速根据不同需求控制伸缩内管的伸缩量，大大的提高了调节效率，同时又保证了反应的原子和原子团能够均匀的排列在旋转平台上的膜层上，确保光学薄膜成型厚度均匀。