[实用新型]一种便携式变温样品台装置有效
| 申请号： | 202021126000.3 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN212357379U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 马毅;吴伊帆;谢续友;黄先伟;俞越翎;张泰华 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310014 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种便携式变温样品台装置，包括样品台腔体、设置在样品台腔体顶部样品台上底面及设置在样品台腔体底部的样品台下底面，所述样品台腔体内部在位于样品台下底面内侧贴合设置温度调节装置，所述样品台腔体内部在位于温度调节装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。本实用新型的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对镀膜时温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便携式 样品 装置 | ||
【主权项】：
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