[实用新型]光伏电池工艺炉内的载片舟有效
| 申请号： | 202021144105.1 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN211929454U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 陈庆敏;吴晓松;李丙科;朱加杰;李建新 | 申请（专利权）人： | 无锡松煜科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/223;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江苏漫修律师事务所 32291 | 代理人： | 熊启奎;周晓东 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光伏电池工艺炉内的载片舟，包括舟体架、活动分流板和若干个载片架单元，舟体架沿长度方向包括左右两个侧栏，两个侧栏的两端通过横向栏杆或者固定分流板固定连接，若干个载片架单元成一排放置在舟体架上，载片架单元内安装硅片；在相邻载片架单元之间和/或载片架单元与舟体架的端部之间插入活动分流板；固定分流板和活动分流板均开设有多个均匀分布的气孔，对气体进行均匀分流。本实用新型通过舟体架上的固定分流板或活动分流板保证气流的均匀性，提高硅片的成品质量。而且载片舟上的载片架单元和活动分流板的组合形式多样，安装灵活，可适用于不同尺寸的硅片规格或者不同的工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 电池 工艺 载片舟 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
