[实用新型]一种大小可调节的PVD镀膜夹具有效
| 申请号： | 202021162632.5 | 申请日： | 2020-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN212834007U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 白秋云 | 申请（专利权）人： | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人： | 潘育敏 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜工装技术领域，具体而言，涉及一种大小可调节的PVD镀膜夹具,包括夹具本体、螺杆和支架，所述支架设有滑槽，所述螺杆位于所述滑槽内，且所述螺杆与所述支架转动连接；所述夹具本体包括用于夹持基底的第一夹持臂和第二夹持臂；所述第一夹持臂和/或所述第二夹持臂的一端与所述螺杆螺纹连接，以调节所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的间距，夹具本体有第一夹持臂和第二夹持臂组成，基底被第一夹持臂和第二夹持臂夹持，并且，在支架上设置有滑槽，螺杆位于该滑槽内，且螺杆与支架螺纹连接，第一夹持臂和/或第二夹持臂的一端与螺杆螺纹连接，通过转动螺杆，可调节第一夹持臂和第二夹持臂之间的间距，以适用于不同大小的基底。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大小 调节 pvd 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
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