[实用新型]一种真空镀膜翻转工装有效
| 申请号： | 202021162634.4 | 申请日： | 2020-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN212834008U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 白秋云 | 申请（专利权）人： | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人： | 潘育敏 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及工装夹具技术领域，具体而言，涉及一种真空镀膜翻转工装,包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架和用于翻转所述夹具的翻转机构；所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架转动连接；所述翻转机构包括齿轮和调节板，所述齿轮与一所述转轴同轴连接，所述调节板设有条形齿，所述条形齿与所述齿轮啮合，以带动所述齿轮转动。在本实用新型中，该翻转工装包括夹具，在该夹具上设置有翻转机构，该翻转机构包括齿轮和调节板，齿轮与转轴同轴连接，调节板设有条形齿，通过条形齿与齿轮的啮合，用于带动齿轮转动，进而带动夹具翻转以实现基底的翻转，方便对基底的多面进行镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 翻转 工装 | ||
【主权项】：
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