[实用新型]晶棒线切割辊及晶棒多线切割装置有效
| 申请号： | 202021182861.3 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN213005970U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 刘群;闻澜霖;卢得沅 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶棒线切割辊及晶棒多线切割装置。所述晶棒线切割辊上设置有多个凹槽，所述多个凹槽沿所述晶棒线切割辊的长度方向均匀间隔分布，所述多个凹槽的底面为圆弧面。本实用新型的晶棒线切割辊经改善的结构设计，在切割辊上设置多个凹槽且凹槽的底面设置为圆弧面，使得切割线能更好地与凹槽相贴合而被稳定地固定于凹槽内，可以有效避免切割过程中切割线的跳动(尤其是极大改善第一刀切割中的质量问题)，可以有效提高切割质量，避免原材料的浪费。采用本实用新型的晶棒多线切割装置，可以有效避免切割过程中切割线的跳动，可以有效提高切割质量，避免原材料的浪费，有助于提高生产效率和降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 晶棒线 切割 晶棒多线 装置 | ||
【主权项】：
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