[实用新型]一种金刚石基欧姆接触结构

摘要

本实用新型涉及一种金刚石基欧姆接触结构，属于半导体材料与器件技术领域。该金刚石基欧姆接触结构，包括金刚石衬底，金刚石衬底的表面设有欧姆接触电极，欧姆接触电极包括两层金属电极层，接触金刚石衬底的第一电极层为Ni金属层，第一电极层的上层为第二电极层，第二电极层为化学惰性金属层。金刚石衬底表面上还可预先设有单晶金刚石外延薄膜。在金刚石材料衬底上沉积第一电极层，在第一电极层上沉积第二电极层，之后进行快速退火形成耐高温金刚石基欧姆接触结构。本实用新型的金刚石基欧姆接触结构在高温下有良好的热稳定性和电学特性，同时显著提高了金属电极与金刚石材料之间的黏附性。