[实用新型]一种自动型晶圆测试用治具有效
| 申请号： | 202021217035.8 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN212781085U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 荣国青;门蒙;张健星 | 申请（专利权）人： | 苏州辉垦电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 王利斌 |
| 地址： | 215134 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动型晶圆测试用治具，包括上框架、下框架、安装块，所述上框架包含上框架外环板和上框架内环板，所述上框架外环板和上框架内环板之间设有上框架隔板，所述下框架包含下框架外环板和下框架内环板，所述下框架外环板和下框架内环板之间设有下框架隔板，所述安装块上方连接有上盖板，所述安装块下方连接有下盖板，所述上盖板和下盖板设有相互配合的探针孔。本实用新型的有益效果是：采用多个安装块安装方法，便于维修和更换，采用上框架和下框架的组装，并均用隔板隔开，安装块安装方便，安装位置精准，同时该治具与检测设备间设有多个定位销孔和调节孔，治具定位精准，调节方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 型晶圆 测试 用治具 | ||
【主权项】：
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