[实用新型]一种用于高纯钌靶制备的升温装置有效

专利信息
申请号: 202021224230.3 申请日: 2020-06-29
公开(公告)号: CN212537874U 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: 王永超;赵泽良 申请(专利权)人: 河南东微电子材料有限公司
主分类号: F23G7/06 分类号: F23G7/06;F23G5/44;F27D19/00;F27D7/06
代理公司: 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 代理人: 孔丽丽
地址: 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型公开了一种用于高纯钌靶制备的升温装置,包括具有箱门的箱体,所述箱体内通过加热箱固定安装有制备罐,所述制备罐上螺纹安装有罐盖,所述箱体上安装有抽气机构,所述制备罐上固定安装有隔板,所述加热箱内通过焚烧机固定安装有导热轴,且导热轴与焚烧机的出热口相固定,所述导热轴上固定安装有多个放置机构,所述隔板与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆,所述制备罐内通过两个电动伸缩杆固定安装有两个点火杆,所述焚烧机与制备罐之间连通有排气管。优点在于:既可以对高纯钌靶制作时提供较高的温度,能够进行多次加热升温,且可以将燃烧时产生的废气进行有效的处理,可有效的节约能源的消耗,具有较高的实用价值。
搜索关键词: 一种 用于 高纯 制备 升温 装置
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